技术编号:10637009
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。激光干涉测量法具有快速、非接触及高精度的优点,是测量复杂曲面(如齿轮齿面、动静压轴承内表面等)形状误差的有效手段。基于改进的Mach-Zehnder激光干涉仪,可搭建出测量光路并拍摄出待测面的干涉条纹图(具体见参考文献S.Fang et al.,"FormDeviat1n Measurement of Helical Gear Tooth Flank Using Phase-shifting LaserInterferometry,Lasers in En...
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