技术编号：10637742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机械电子系统(MEMS)主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处 理电路等几部分。MEMS利用各种加工工艺，尤其是微细加工技术，在电子通信以及微电子技 领域最新成果的基础上，逐渐成为了高科技前沿学科。 压电半球谐振微陀螺仪采用压电材料作为主体部件，采用MEMS加工工艺和技术， 具有抗过载、抗冲击能力强、工作谐振频率高、分辨率高、启动时间短等优越特性，在军用导 航、航空航天、制导技术以及民用消费电子等领域等具有广泛的应用前景。这种陀螺利用谐 振状...
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