探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法技术资料下载

技术编号:10637832

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在薄膜晶体管液晶显不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,以下简称TFT-LCD)的制备工艺中,在阵列基板的制备完成后,为了保证产品的质量,需要采用阵列基板的检测设备对阵列基板上的线路和像素进行检测,确定线路是否存在短路、断路以及是否存在不良像素等问题,以筛选出不合格的产品。如图1和图2所示,阵列基板的检测设备中一般包括探针单元I和用于产生驱动信号的信号发生器,其中,探针单元I包括多个探针11和与多个探针...
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