技术编号：10645749
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 近年，作为薄膜太阳能电池，高光电转换效率的CIGS系太阳能电池的大规模量产 正在取得进展。CIGS系薄膜太阳能电池通常具有将背电极、光吸收层、缓冲层W及透明电极 等顺次积层的结构。作为该光吸收层的制造方法，蒸锻法和砸化法是公知的。W蒸锻法制造 的太阳能电池具有高转换效率的优点，但具有成膜速度低、成本高、低生产性的缺点，砸化 法则适用于产业上的大规模生产。 砸化法的简要工序如下。首先，在碱石灰玻璃基板上形成钢电极层，在其上瓣射沉 积化-Ga层和In层后，通...
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