技术编号：10651995
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 表面缺陷的数字化定量检测是先进光学制造超精密加工技术可持续发展的重要 环节，在表面面形及粗糙度得到良好控制的时候，表面缺陷越来越成为制约先进光学制造 超精密加工工艺和水平的主要因素，光学元件表面缺陷的数字化定量检测将为提高先进光 学制造超精密加工技术、研究各种超精密加工工艺提供有力手段。同时，在很多光学相关的 超高精度领域，如空间光学、惯性约束聚变(ICF)系统、超大规模集成电路等领域，光学元件 表面的缺陷如划痕、麻点等不但会影响光学系统成像质量，其在强...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。