技术编号：10652951
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 已知的光学部件包括基材和在该基材上设置的多个层。日本专利公开No. 2008- 34502公开了一种盖，其中在石英晶体板上设置具有四层结构的减反射膜。例如，在将减反 射膜再沉积W再生的情况下，希望从基材的表面将构成减反射膜的多个层除去。 在将基材上设置并且由不同材料形成的多个层除去的情况下，可使用如下方法， 其中将上层除去，然后将下层除去。但是，可能存在的问题在于将上层和下层分别除去时 生产工艺复杂。随着待除去的层数增加，该问题变得更为严重。发明内容 本...
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