技术编号：10653014
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微电子机械光开关，即MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)光开关，近几年飞速发展，它是半导体微细加工技术与微光学和微机械技术相结合，产生的一个微机-电-光一体化的新型开关，是大容量交换光网络开关发展的主流方向。MEMS光开关是在硅晶上刻出若干微小的镜片，通过静电力或电磁力的作用，使相关微镜片产生升降、旋转或移动，从而改变输入光的传播方向以实现光路选择的功能。MEMS 光开关较传统机械式光开关具有明显优势，其开关时间一般...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。