技术编号：10653093
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，通过使用图案光产生单元(诸如数字镜器件(DMD)、液晶型光学调制器件以及形成图案的掩模)来产生图案光、然后执行图案投射、曝光和测量的装置是已知的。例如，使用图案投射方法的某一测量装置将图案光投射在目标上，捕捉目标的图像，并且基于捕捉的图像来测量目标的形状。测量装置包括测量头和成像单元，测量头包括用于投射图案光的投射单元，成像单元用于捕捉目标的图像。测量装置在测量装置的内部或外部设有计算单元。投射单元通过图案光产生单元来产生图案光。投射单元通过投射透...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。