电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子设备的制造方法技术资料下载

技术编号:10653098

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作为电子设备,已知例如通过被称为DMD(数字微镜器件)的电光学装置的多个反射镜(微镜)将光源射出的光调制后,通过利用投射光学系统将调制光放大投射,在荧幕上显示图像的投射型显示装置等。如图18所示,用于这种投射型显示装置等的电光学装置例如,包括一个面Is上设置有反射镜50的元件基板1、在俯视图上以包围反射镜50的方式与元件基板I的一个面Is侧粘接的间隔部件28、被间隔部件28的与元件基板I相反的相反侧的端部支撑的板状的透光性盖29。而且,电光学装置具有例如由...
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