一种具有曝光补正的光罩的制作方法技术资料下载

技术编号:10653243

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当前,液晶显示器已经广泛的应用在电子显示产品上,如电视、计算机屏幕、笔记本电脑、移动电话等。在液晶显示器中,为保证液晶的偏转角度,需要保证在面板中形成的电场强度。然而,在广视角(FFS)显示模式中,电场为横向分布,从而更需要保证像素电极的曝光精度,从而得到均匀的电场,使液晶均匀偏转。在制作的光罩的过程中,当光罩上的尺寸小于曝光机的最小精度,由于曝光精度的限制,不能完全复制设计的图形,假设如果是锐角,经过曝光、蚀刻制作过程后,得到的光罩上的图形会形成圆角,如...
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