技术编号：10653271
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 近年来，随着半导体工业、液晶显示器（liquid Cirstal display,LCD)W及有机 电激发光显示器（〇rganiC electro-luminescence display,0E；LD)的发展，伴随而来对于 尺寸缩小化的需求，使得微影（photolithography)制程成为非常重要的议题。在微影 (photolithogra地y)制程中，必须将所需的图案（pattern)的微细化（finer)，W达到尺寸 缩小化的目的。一般而言，微细...
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