绝缘衬底上的硅和体硅横向功率二极管结构参数提取方法技术资料下载

技术编号:10655498

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从上世纪80年代至今,因为化SI技术和微细加工技术被广泛应用,横向功率器件 亦得到快速发展。横向功率器件在获得高压的同时也得W与低压逻辑控制电路实现集成, 而且大大提高了集成度,现在已经广泛用于通信、功率电源、马达驱动及汽车电子领域。 横向功率二极管是横向功率器件的基本结构,根据衬底材料的不同,可W分为SOI 横向功率二极管和体娃横向功率二极管。SOI横向功率二极管结构如图1所示,1为具有第一 导电类型的支撑衬底,2为位于支撑衬底上的绝缘埋层,3为位于绝...
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