技术编号：10658110
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。作为一种无源器件，MEMS惯性开关具有无能耗、体积小、集成度高等特点。基于传统工艺设计制造的MEMS惯性开关，当受到施加于敏感方向的超过阈值的外界加速度时，移动电极与固定电极之间刚性接触，接触时间短，无法有效的采集惯性开关的瞬间导通变化，应用范围也受到了很大的限制；同时，由于加工制造过程中，自身加工条件的限制，移动电极的表面很难到达到很好的平整度，这将会影响移动电极与固定电极的碰撞接触导通过程。基于微细加工工艺制备的MEMS惯性开关具有阈值一致性好、制造成...
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