技术编号:10658276
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。对如同半导体晶片的基板进行处理的基板处理装置大致分为对多个基板一并处理的批量型处理装置和在处理室内对作为处理对象的基板,一次处理一片的单张式处理装置。在普通的单张式处理装置中,处理室内一片基板保持为水平,根据处理的内容,进行基板的旋转或者向基板供给处理液。单张式处理装置具有旋转卡盘。在旋转卡盘的旋转底座的上表面,多个卡盘销以等间隔的方式沿周向配置。各卡盘销设置为能够对与基板的周缘部接触的关闭状态和与基板的周缘部不接触的打开状态的两种动作状态进行切换。通过由...
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