可优化去胶工艺的sonos存储器制造方法技术资料下载

技术编号:10658305

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随着存储器工艺的不断发展,器件的尺寸不断的缩小,读操作的电流也随之越来 越小。而因为读操作电流的迅速变小,也同时压缩了存储器的工艺窗口。例如在2T S0N0S存 储器中,如果与S0N0S管串联的选择管饱和电流太小,就会影响到2T的整体的读电流,严重 时即使S0N0S管处于正常的擦除状态,读电流还是会受到选择管的影响而偏小,甚至无法达 到参考电流而出现假性的"无法擦除失效"。 图1示出了0.13um S0N0S平台下的某产品的测试效果图,因为原有的工艺的窗...
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