技术编号:10658391
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在各种显示装置的像素单元中,通过施加驱动电压来驱动显示装置的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)被大量使用。在TFT的有源层一直使用稳定性和加工性较好的非晶硅(a-Si)材料,但非晶硅本身自有的缺陷问题,如缺陷太多导致的开态电流低、迀移率低、稳定性差,使它在很多领域收到了限制,为了弥补非晶硅本身缺陷,扩大在相关领域的应用,低温多晶娃(Low Temperature Poly-Si I icon,LTPS)技术应运而生。采用LTPS...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。