技术编号：10659486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。分布反馈激光器(DFB)是在激光器内部加入布拉格光栅实现光的反馈，由于光栅的选择作用，输出的光谱线宽远窄于一般激光器的光谱，且能够稳定单模振荡。D F B激光器的边模抑制比及功率特性与光栅的耦合系数有密切关系，而光栅的耦合系数由光栅的形状、填充因子、深度等因素决定。因此，光栅的特性直接影响到DFB激光器的性能。故光栅的制备是至关重要的工艺技术，一般光栅的制备包括掩膜制备和光栅刻蚀。制作掩膜可通过全息曝光、电子束直接写入或者纳米压印的方法来实现。纳米压印具有...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。