技术编号：10663449
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。DE 10 2011 006 100 A1公开了一种多反射镜阵列的投射曝光设备，多反射镜阵列具有可由致动器移动的单独反射镜。本发明之目的为改进一种。该目的通过根据权利要求1的方法来实现。为了移动具有至少两个移动自由度的一个或多个光学部件的目的，本发明之核心在于预先限定在移动期间允许由所有致动器总体消耗的最大总功率;确认移动光学部件的对应驱动协议；以及根据该驱动协议移动光学部件。预先限定在移动期间的最大功率消耗限制了所提供的最大电功率。这对于具有该光学部件的...
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