技术编号:10663778
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 医院、研究所等中所使用的各种器材、器具等为了消毒及杀菌而被实施灭菌处理。 作为该灭菌处理之一,已知有等离子体处理(例如,非专利文献1的"使用了 3.3.1低压力放 电等离子体的灭菌实验"栏)。 另外,等离子体处理不仅用于灭菌处理,而且还用于半导体元件的制造中的等离 子体干式蚀刻及电子零件等被处理物的表面的等离子体清洗。 就等离子体干蚀刻而言,通常对配置于作为真空容器的反应腔室内的电极施加高 频功率,将导入至反应腔室内的等离子体产生用气体进行等离子体化,对...
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