技术编号:10666071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在液晶显示装置中,使用薄膜晶体管的液晶显示器已经是目前市场主流之一,其中液晶显示器的每一个像素是由对应的薄膜晶体管控制。一般而言,薄膜晶体管的形成方式是通过多道工艺,例如显影工艺以及蚀刻工艺。对于薄膜晶体管中各层主动元件的结构,例如半导体主动层以及金属电极层,其各自需要有对应的光罩工艺,以形成于所对应的位置。然而,当主动元件之间结构越复杂时,光罩工艺所包含的曝光、显影以及蚀刻工艺也需要进行相对多次,也因此提升了工艺成本。因此,如何能有效降低工艺的成本,实属...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。