技术编号：10680518
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 瓣射装置有各种方式，对于上述磁记录膜的成膜而言，从生产率高的观点考虑，广 泛使用具备DC电源的磁控瓣射装置。瓣射法使用的原理如下将作为正极的衬底与作为负 极的祀对置，在惰性气体气氛中，在该衬底与祀之间施加高电压W产生电场。 此时，惰性气体电离，形成包含电子和阳离子的等离子体，该等离子体中的阳离子 撞击祀(负极)的表面时将构成祀的原子击出，该飞出的原子附着到对置的衬底表面上而形 成膜。通过运样的一系列动作，构成祀的材料在衬底上形成膜。 另一方面，从关于磁性...
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