技术编号:10680525
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备,其中,镀膜的技术具有很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的对象被称为工件(或基片),需要镀在工件上的材料被称为靶材,如硅靶、铌靶、铝靶、钛靶等。工件与靶材同在真空腔中。在真空条件下,通入一定气压的氩气,氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子,氩离子加速轰击靶材,从而将靶材材料溅射到工件表面,形成薄膜。目前的...
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