技术编号:10688941
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜晶体管(ThinFilm Transistor)是使用非晶、多晶或者有机半导体薄膜材料作为沟道材料,在塑料、玻璃、有机基板上形成的场效应晶体管,目前已被广泛应用到有源矩阵平板显示技术(Active Matrix Flat Panel Display)中。目前,为了提高薄膜晶体管的性能,多采用多栅结构和纳米线沟道来提高栅极对沟道的控制能力,以便提高器件的性會K。然而,目前制备薄膜晶体管的方法以及薄膜晶体管的结构仍有待改进。发明内容本申请是基于发明人对以下...
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