技术编号:10688986
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。有机电致发光技术(Organic Light Emitting D1de,0LED)是一种新型的显示、照明技术。一般采用真空蒸镀技术制备OLED薄膜,S卩在真空环境(?10_5Pa)中加热有机/金属材料,材料受热升华,通过具有特殊图案的掩膜板(mask),在基板表面形成具有一定形状的有机\金属薄膜。经历多种材料的连续沉积成膜,即可形成具有多层薄膜的OLED结构。如上所述过程中,大部分材料(有机或金属材料)沉积在蒸发腔内壁和掩膜板的表面。当掩膜板表面的有机或...
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