高对比度光栅耦合腔窄光谱线宽面发射激光器的制造方法技术资料下载

技术编号:10689850

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垂直腔面发射激光器(Vertical-cavitysurface-emitting lasers ,VCSELs)以其低成本,低功耗,易于封装,尚光束质量,低电流状态下优异的尚速调制特性等性能优势,在短距离数据传输、光互联、光存储等方面有着很好的应用。然而普通VCSEL由于其多横模激射和偏振方向不稳定等缺点,限制了其在传感和芯片级原子钟微系统等领域中的应用。近年来,随着光子晶体(Photonic crystal,PhC)、表面浅刻蚀(surface rel...
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