技术编号:10690557
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着科学技术的发展,微型驱动技术在超精密机械及其制造、精密测量、生物医疗等学科领域中占据越来越重要的地位,微型驱动器在民用方面也越来越受到关注。压电陶瓷材料具备高精度、响应快、驱动功率低、工作频率宽、不受电磁干扰等优点,因此近年来,对于由此类元件作为驱动源的精密驱动器得到较快发展。然而,现有的压电式微型驱动器结构相对复杂,加工困难,成本较高,并且多为刚性结构,工作时驱动器直接与工作平面刚性接触,对工作环境的要求相对较高、适用性不强,因此设计一种结构简单、运...
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