体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器的制造方法技术资料下载

技术编号:10690662

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随着移动通信装置的快速发展,对于紧凑型和轻型滤波器、振荡器、谐振元件、声 波谐振质量传感器W及用于促进移动通信的其它相似电子组件的需求也随之增加。 通常,薄膜体声波谐振器(FBAR)已被用作实现紧凑型和轻型滤波器、振荡器、谐振 元件、声波谐振质量传感器和其它相似组件的一种装置。运样的FBAR的优势在于其的批量 生产的成本极小,并可实现超小型化。此外,运样的FBAR的优势还在于其可实现高品质因数 Q值(滤波器的主要性质)。运样的FBAR还可在与个人通信系统...
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