用于生产多晶硅的方法技术资料下载

技术编号:10693274

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通过西门子法由如三氯娃烧的卤代娃烧主要将多晶娃(PoIycrystal I inesilicon,polysilicon)沉积在细棒上,这产生多晶硅棒,随后将其粉碎成多晶硅块。粉碎成块之后,通常将这些归类为特定尺寸类别。分拣(整理,sort ing)和归类之后,将块配料至具体重量并将其包装在塑料袋中。由US 2013309524A1已知用于分拣、归类、配料和包装块的对应方法。对于半导体和太阳能工业中的应用而言,期望具有最低污染水平的块状多晶硅。因此期望在最...
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