技术编号：10693605
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。以往，提出了各种在氮化铝中掺杂微量的其他元素而成的压电薄膜的制造方法。例如，在下述的专利文献I中，公开了一种使铝和镓、铟或者钪以及氮在惰性气体环境下反应的反应溅射法。在专利文献I中，记载了通过将氧以0.8摩尔％以上、3.2摩尔％以下的比例同氮一起供给，而使极化方向反转的技术。另外，在下述的专利文献2中，公开了Sc的含有率为0.5?50原子％的氮化铝压电薄膜。专利文献I日本特开2009-149953号公报专利文献2日本特开2011-15148号公报根据专利文...
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