技术编号：10697339
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光刻机工作台接触光刻自适应调平机构是光刻机的核心部件对准工作台中的关键机构，该机构直接体现光刻机的研制、生产、制造、装配等技术水平，是光刻机的核心技术。光刻机接触式光刻基本应用原理自适应调平机构安装于Z工作台上，自适应调平机构上安装放置晶圆片的载片台。光刻掩膜板固定于工作台上方;工作时，通过控制Z工作台上升接触光刻掩膜板，要求晶圆片紧密接触光刻掩膜板，然后将掩模版的图形复印到晶圆片的涂胶面上；图形复印时要求晶圆片涂胶面与掩模版图形面完全紧密接触，才能在晶圆...
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