技术编号:10698179
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。电容器是记忆体、逻辑与模拟电路中的重要组件。由于每单位面积的电容有限,电容器在整个电路布局中一直占据相当大的芯片面积。随着集成电路系统(cirtuitry)密度增加,用于电容器的可用晶粒面积跟着减少。更稠密电路中的电容器面积减少,因而更难以包括具有够高电容的电容器。因此,在芯片上的电容器面积固定的情况下,可增加电容的结构及方法的需求依然存在。发明内容本申请案提供基于半导体纳米柱的阵列的高密度电容器结构。该高密度电容器结构可以是多个电容器,其中各该半导体纳米...
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