技术编号：10698498
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。通常包括小型化的各种电部件和机械部件的微机电系统(MEMS)通过各种材料和制造方法来制造，并且用于各种应用。这些应用包括汽车电子、医疗设备和智能便携式电子设备，诸如蜂窝电话、个人数字助理(PDA)、硬盘驱动器、计算机外围设备和无线设备。在这些应用中，MEMS可用作传感器、致动器、加速器、开关、微型反射镜和许多其他设备。MEMS还用于环境压力测量系统以测量绝对或差分环境压力。当设计将MEMS设备用作传感器的系统时，可以考虑各种属性，例如包括分辨率和温度敏感度...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。