技术编号:10707812
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。放电等离子体(DPP)通过在Xe介质中大电流快脉冲放电Z箍缩机制下,产生13.5nm极紫外光,在毛细管出口处极紫外光可在+5*3?+30^-5*3?-30*3的空间辐射,有效的将各部分极紫外光收集起来,在焦点处获得高功率极紫外光,以与后续曝光机耦合,用于光刻,是DPP光刻光源中一项重大的技术。这一收集镜,是采用复杂的表面面型,粗糙度甚高的收集镜片,将极掠入射的紫外光反射在焦点处。为了将空间分布的极紫外光最大限度有效的收集,要求收集镜系统每片收集镜片是薄壳结...
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