技术编号：10711600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 现代的用于测量加速度的传感器通常包括由硅制成的微机械结构（"传感器核"） 和分析处理电子部件。 用于平面内（英语in-plane)运动的加速度传感器是已知的。所述加速度传感器 包括可运动的（"振动"）质量和电极。在质量运动时，电极的距离变化，由此可以探测加速 度。发明内容 本发明的任务是，提供一种用于加速度传感器的改进的微机械结构。 根据第一方面，所述任务通过一种用于加速度传感器的微机械结构解决，所述微 机械结构具有 -振动质量，其借助中央连接元件连接到...
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