技术编号：10711609
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。超精密加工技术作为机械制造业中极具竞争力的技术之一，目前已受到许多国家的关注。近年来，超精密加工技术发展迅速，加工精度不断提高，应用范围不断扩大，如微型机械制造所涉及的精密加工技术、纳米加工技术和微型机电系统(MEMS)等，这些技术都在精密和超精密加工范畴内。但其中某些领域的技术发展并不完善，但用于超精密加工的刀具伺服驱动机构多为单自由度的直线运动，虽然在加工精度方面有明显提高，却难以实现微小型复杂结构的超精密加工。虽然市面上也存在为数不多的，具有两自由度...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。