技术编号:10711729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。我国多晶硅生产的主要工艺是“改良西门子法”氯化氢和工业硅粉在一定温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按比例混合后通入多晶硅还原炉内,在一定的温度和压力下,在通电高温硅芯上进行沉积反应生成多晶硅,同时生成四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢等副产物。在改良西门子法生产多晶硅的过程中,势必产生大量的SiC14,一般情况下,每生产Ikg多晶硅产品,大约会产生15kgSiC14,要大规模生产多晶硅,必需解决SiC14的出路问题。处...
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