技术编号:10716504
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。当前固态高科技产业,包括集成电路产业、固体发光、激光器件产业、磁记录材料和器件产业等产业的迅速发展,薄膜科学研究和技术愈来愈受到重视,薄膜的研究和开发对生产的贡献日益增大,薄膜科学研究成果转化为生产力的速度越来越快。电子薄膜材料是微电子技术和光电子技术的基础,所以对各种新型电子薄膜材料的研究成为当今科学工作者的关注焦点。PSS(Patterned Sapphire Substrate),即图形化蓝宝石衬底,就是在蓝宝石衬底上生长刻蚀用的掩膜,用光刻的工艺将...
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