一种制备耐腐耐磨钽复合涂层的方法技术资料下载

技术编号:10716511

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难熔金属钽具有熔点高(2996°C,仅次于妈W和铼Re)、高温强度高、热膨胀系数低、 导电性良好、可焊性能及极高的耐腐蚀性(常温下可以与铂媲美)等优点。在金属或非金属 材料的阀门、管件、热交换器、化学反应容器等部件上沉积形成几微米到几毫米厚的金属 钽,这种钽涂层具有良好的耐腐蚀性,被广泛应用于电子电气、化工、航空航天、医疗卫生及 军事等领域。目前,制备钽涂层最常用的方法是物理气相沉积法(PVD)和化学气相沉积法 (CVD)。物理气相沉积常用的方法是溅射法...
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