技术编号:10721346
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。对于成膜厚度的精确监测一直以来都是相关行业的技术人员的追求目标。长期以来,人们尝试了各种方法和途径来监测成膜厚度,也取得了一定的成果,但是现有技术中对成膜厚度的监测结果中灵敏度低、准确性低。发明内容针对现有技术的缺陷,本发明的目的在于提出了一种用于成膜厚度监测的监测方法,能够有效地结合压电石英晶片的频率厚度特性,对成膜厚度提供高灵敏度和高准确性的监测结果。本发明提供了一种用于成膜厚度监测的石英晶体谐振器,在所述石英晶体谐振器的外盖上设置有一开孔,用于使谐振...
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