技术编号:10721749
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。以往,作为使用压电材料的力传感器公知有专利文献I的装置。所公开的力传感器,利用作为压电材料的结晶圆板16夹持专利文献I的图15所示的信号电极15,并且如专利文献I的图4所示,通过焊接将多个被金属罩圆板17夹持的测定元件配置在金属环14内。另外,图13表示现有技术的传感器器件。如图13所示,传感器器件200的整体由传感器元件214、具有收容传感器元件214的凹部的金属制造的封装202、以及与封装202的凹部的开口部220的成为外周的上表面(接合面224)接合...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。