一种光学检测系统及光学检测设备的制造方法技术资料下载

技术编号:10722294

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目前,在基板的制作工艺中有时会存在一些短路、断路等不良现象。为了及时发现基板制作存在的各种不良,确保基板的质量,需要实时对基板进行检测,以确定其中是否存在不良现象,以保证基板的正常显示。目前可以采用光学检测设备对基板进行检测,现有的光学检测设备主要依靠单一的发光二极管LED冷光源(发出单色光,如红光、绿光或蓝光)或者金属灯(发出白光)对待测基板进行检测,采用的是检测光(某种单色光或白光)直接垂直照射至待测基板(如阵列基板)上,然后接收从待测基板表层反射回来...
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