技术编号:10722915
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。电场传感器是一种用来测量电场强度的器件,在气象探测、航空航天、工业生产、智能电网、国防军事和科学研究方面具有十分重要的作用。依据工作原理的不同,电场传感器可以分为光学式与电荷感应式两大类。早期的基于电荷感应原理的传统电场传感器,比如双球式、火箭式、旋片式等,最突出的问题在于体积较大、成本较高;随着MEMS技术的发展,基于MEMS技术的电场传感器纷纷被提出,以其中性能出色的基于SOI (SiIicon-On-1nsulator)工艺静电梳齿激励式电场传感器为...
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