极紫外多层膜反射式单级衍射光栅的制作方法技术资料下载

技术编号:10723303

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衍射光栅是利用多缝衍射原理使光发生分散的一种光学元件,通常分为透射式衍射光栅和反射式衍射光栅。根据衍射光栅公式可知,上述衍射光栅都有多级衍射的特性,在实际应用时往往只有衍射的±1级和0级是真正需要的,其余的高级衍射会对所测光谱造成污染,即高级衍射谱可能会叠加到一级衍射谱上,出现光谱级次叠加的现象,这种光谱级次叠加也会在后续解谱中带来不确定性,即在解谱中不能分辨出所需波长的衍射峰,从而限制了衍射光栅在光谱学中的应用。发明内容为了解决上述光谱级次叠加问题,尤其...
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