技术编号：10723304
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。分布反馈(Distributed Feed Back，简称DFB)激光器是在目前光通信中应用非常普遍的一种芯片。由于相移光栅在DFB激光器的光栅内部引入折射率不变区域，提升了 DFB 激光器的单模成品率，因此在DFB激光器中的应用越来越广泛。目前相移光栅的制作方法是采用电子束光刻(EBL)，EBL通过将所需制作的光栅图形记录在设备系统内，然后利用波长极短的高能电子束按照设备系统内的光栅图形在基板上进行逐步扫描，EBL是一种典型的串行式光刻工艺，其最大的缺点...
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