一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10727479

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扫描/透射电子显微镜(以下简称SEM/TEM)是现代科学技术发展所不可缺少的重要工具。电子显微镜通过电子枪把加速聚焦的电子束投射到样品上,然后接收电子束与样品作用产生的弹性散射电子、非弹性散射电子、背散射电子、二次电子、俄歇电子、透射电子等电子信息,以及X射线、在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射等信息,是研究材料微区晶体结构、化学成分、微细组织、化学键等的有力工具。其中,SEM与TEM成像原理及基本构造的不同,导致SEM与TEM在样品形状及尺寸方面具有...
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