技术编号:10727528
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。为了避免半导体功率器件被杂质离子污染或与周围环境中某些成分发生化学反应而导致其表面电学性能发生变化,需要在半导体功率器件中设置钝化层,以屏蔽来自外界的影响,保证其能够稳定和可靠的工作。但是这些杂质离子尤其是钠离子在钝化层中移动会引起电子积累,影响半导体功率器件表面的电场和分布,进而导致半导体功率器件工作时漏电流增大和击穿特性退化。高压半导体功率器件工作在高温高压环境下时其钝化层中的杂质离子会变得更加活跃,通过电场作用进行再分布使得高压半导体功率器件的表面电...
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