技术编号:10739407
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在基板上形成有机发光二级管(Organic Light-Emitting D1de,0LED)器件通常采用蒸镀工艺,具体的,是在一定的真空条件下加热蒸镀材料,使蒸镀材料升华成原子、分子或原子团组成的蒸气,然后凝结在基板表面成膜,从而形成OLED器件的功能层。蒸镀工艺按照蒸镀源(蒸镀材料的加热装置)的类型可分为点源蒸镀和线源蒸镀,其中点源蒸镀技术发展较为成熟,已经在生产线实现了量产。发明人发现现有技术中至少存在如下问题现有技术中的点源蒸镀设备通常包括坩祸,以...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。