技术编号:10739472
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体硅单晶一般采用切克劳斯基法(简称直拉法)制造。该方法具体为,将多晶硅装进石英坩祸内,使其加热熔化,然后通过等温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等一系列工序完成一支或多支单晶硅棒的拉制。在单晶硅的生产过程中,在不改变热场的基础上使用连续加料器进行连续加料(即,连续向石英坩祸内添加硅料)是各单位增加产量、降低生产成本所采用的主要手段之O随着技术的创新,连续加料器的功能越来越先进,为确保其强度,现有连续加料器一般采用不锈钢制成,但是不锈钢材质的连续加料器在连...
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