一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:10767646

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气体传感器已经在工业、民用和环境监测三大主要领域内取得了广泛的应用。目前检测气体的方法和手段已经非常多,主要包括催化燃烧式、电化学式、热导式、红外吸收式和半导体式气体传感器等。半导体式气体传感器包括电阻式半导体气体传感器和非电阻式半导体气体传感器,电阻式气体传感器是利用阻值变化来检测气体浓度。由于电阻式半导体传感器具有灵敏度高、操作方便、体积小、成本低廉、响应时间和恢复时间短等优点,因此应用最为广泛,特别在对易燃易爆气体(如CH4,H2等)和有毒有害气体(...
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