技术编号：10767812
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，压电管在高精度控制领域的应用日益广泛，可以同时实现三维的高精度控制，因此在扫描探针显微镜镜体中有广泛的应用，但是压电管的操作程序复杂且成本较高；由于压电管的半封闭式结构，其内部电极不便于连接；用于高真空环境下时，不利于抽真空。因此，增加了扫描探针显微镜的制作成本和操作难度，不利于扫描探针显微镜的普及及应用，制约了纳米科技的发展。在项目批准号为11304082的国家自然科学基金“超快速扫描隧道显微镜的改进与应用”的支持下，本专利提出了一种压电双晶片式马...
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